氯化氢气体

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5.0N电子级氯化氢气体

      99.999%电子级氯化氢气体相关参数

      产品名称:氯化氢气体  电子级氯化氢气体  高纯氯化氢气体
      英文名:hydrogen chloride
      CAS编号:7647-01-0
      产品纯度:99.999%
      包装规格:40L、44L
      充装量:22。7公斤
      充装压力:4。2mpa(20°C)
      分子式: HCl
      分子量: 36.4

      99.999%电子级氯化氢气体产品用途:
      大规模集成电路生产中,单晶硅片气相抛光,外延基座腐蚀。

      99.999%电子级氯化氢气体产品说明:
      氯化氢气体为强刺激性,不燃气体,溶水后有强烈腐蚀性。产品包装于高压专用钢瓶中,处于液态。专用钢瓶为钢质无缝气瓶,瓶内抛光处理。瓶阀为抗腐蚀不锈钢隔膜阀。钢瓶设计压力为12.5Mpa,工作压力约5-6Mpa。
      电子级氯化氢产品生产装置于2003年投产,经北京市科委鉴定,国家标准物质研究中心和信息产业部专用材料质量监督检验中心抽样检验,纯度大于99.999%,总杂质含量小于5ppm,产品性能指标与国际品牌相当。主要用于半导体器件生产中单晶硅片的气相抛光、外延基座腐蚀及硬质合金制造。

      高纯氯化氢产品的生产工艺为我公司专利技术,具有自主知识产权,填补了国内高纯氯化氢产品生产的空白。氯化氢产品参照SEMI c3。35-1101氯化氢标准,并执行国家标准GB/T14602-2014(电子级)和企业标准Q/HDHYF001-2016(化学级)。


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